Un procesore de plas el xe un dispositivo doparà pa elaborasion al plasma. Ła so strutura ła xe fata dei seguenti conponenti prinsipałi:
Camera de difarensa: ła càmara de scarico ła xe el conponente de un coro un corajo. El dopara alta tension AC o de frequensa radio pa ła provocasion dei scarico de gas, in modo cusì che i forma el plasma. Ła càmara descargia ła xe de sołito fata de ixołari de ixołari come ła ceramica o el véro.
Camera da lavoro: La camera che lavora xe la posizion primaria per elaborazion material. I efeti de łaorar difarenti i vien otegnùi controłando el gas diverso, ła presion e i parametri de potensa. Ła càmara de laoro ła xe de sołito fata de materiałi co łe bone propietà de sigiłasion a vaco, come ła metała o ła ceramica.
sistema de evacuasion: el sistema de vodo el vien doparà par estrar el gas dała càmara che laora par crear un ambiente de vuoto durante el łavorasion. El sistema de aspirapoltura de sołito el xe costituio de na pompa de avoło e rełasionài.
Altissimo fornimento de energia: L'alta fornitura de energia: L'alta fornitura de energia ła fornise energia al procesore al plasma, ionixàndo el gas par formar el plasma atraverso un atimo canpo eletrico. El alto reato el riaceso de energia eletrona de sołito costituii de conponenti eletronici e i sistemi de controło cołegà.
sistema automatico: El sistema controlo automatico el controla tuto el procèso de elaboramento al plasma, anca l'ambiente parametro, el controlo del tempo, el controlo del tenpo e el liveło de avoło. El sistema controlo automatico tipicamente el xe conposto da un conpràto de control informatico.
Inoltre, i procesori de plasma i xe dotai co un sistema de fornitura de gas par fornir i gas necesai ała càmara descarica. Sto sistema de sołito el xe costituio de un ciłindista gas, un regołador de presion, un controłore de fluso, e altri conponenti.
In soma, ła strutura de on prosesore de plasma ła conprende ła càmara de scarico, na càmara de laoro, un sistema de avołeto, un argomento de afermasion de enerquia, e un sistema de controło automatico. L'operasion coordinada de sti conponenti abilita el procesore al plasma par induxare varie reasion fisiche e chimiche so ła superfisie materiałi, che el ga ciapà el tratamento desià.